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科学通报 2010,55: 396-400 DOI:
ISSN: 0023-074X CN: 11-1784/N |
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| 论文 |
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快速与精确的AFM探针模型重构研究 |
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袁帅①②, 董再励①, 缪磊①, 席宁①③, 王越超① |
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① 中国科学院沈阳自动化研究所, 机器人学国家重点实验室, 沈阳110016;
② 中国科学院研究生院, 北京 100049;
③ Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, USA |
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摘要：
在AFM扫描成像中, 由于探针具有展宽效应等因素, 导致扫描图像失真. 从数学形态学角度看, 可以认为真实图像失真是受到了探针针尖形貌卷积的作用, 因而不能反映样品表面的真实形貌. 采用反卷积运算处理可以排除这类扫描成像干扰, 但需要准确知道探针针尖形貌, 这对于AFM纳米扫描图像的精确重构具有实际意义. 在已有的探针建模算法中, 基于数学形态学的盲建模算法得到了广泛使用, 然而该算法存在运算时间较长, 最优降噪门限阈值很难确定等问题. 针对这些问题, 提出一种新的盲建模方法, 可以提高盲建模运算速度, 并且实现AFM扫描图像的精确重构. 仿真和实验结果证明了上述研究方法的可行性和有效性. |
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关键词：
原子力显微镜
探针盲建模算法
多孔铝
数学形态学
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Abstract:
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Keywords:
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收稿日期 2009-06-22 修回日期 2009-10-30 网络版发布日期 |
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DOI: |
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基金项目:
国家自然科学基金重点项目(批准号: 60635040)、国家高技术研究发展计划(编号: 2009AA04Z313, 2009AA03Z316)和中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目 |
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通讯作者: 袁帅 |
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Email: yuanshuai@sia.cn |
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作者简介: |
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| 参考文献： |
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